改我国装备业实现重大突破化工机械网

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9月28日，由北京北方微电子公司来自IT通讯、智能交通等领域的高新兴、烽火众智、易华录、青岛海信等“平安城市”新兵大举进军二三线市场。该势力群在客户关系、资金、资质和技术能力等方面都具备令人羡艳的优势和北京中科信公司承担的国家“十五”86 计划集成电路制造装备重大专项“100纳米离子刻蚀机”和“100纳米离子注入机”项目顺利通过科技部组织的验收，这标志着中国集成电路制造核心装备由此取得历史性突破。

年跨越5个技术代

没有先进的集成电路制造设备，就不可能有自主先进的集成电路芯片产品。“百种战斗模式九五”末期，我国集成电路装备的水平为6英寸500纳米，与当时国外*的8英寸100纳米相差5个技术代，国内所有8英寸以上生产线没有一台国产设备。同时，集成电路制造装备企业为长久占领市场，对中国实行技术封锁和禁运遏制战略，并用高价控制中国市场。要摆脱落后挨打的困境，只有自强。为此，北京市在科技部的支持下，大力发展集成电路装备产业。2002年11月，北京市政府启动“100纳米高密度等离子刻蚀机与大角度离子注入机”项目。

“离子刻蚀机和离子注入机是芯片生产线上的关键设备。所谓100纳米，指的是硅材上刻的小槽宽度，这个数值越小，意味着芯片的*度和集成度越高。8英寸指硅片的大小，硅片越大，效率越高，但对技术要求也越高。相对于‘九五’末期的6英寸500纳米跨越了5个技术代。”北方微电子公司相关负责人告诉。国外技术从500纳米发展到100纳米大角度用了10多年，而我国仅仅用了 年多的时间。

“作为装备制造业和信息产业核心技术，国产离子刻蚀机和离子注入机实现突破，这大大提升了我国开发具有自主知识产权的集成电路制造装备的技术实力和自主创新能力，实现了集成电路装备制造业的跨越式发展。”中科信公司相关负责人在接受中国知识产权报采访时表示。同时，她还说，制造装备的开发在每一代集成电路技术的更新中都扮演着技术先导的角色。国产装备使芯片生产企业降低生产成本的同时，能相应提高制造芯片的技术水平，消费者就能买到更便宜的、更先进的电子产品。更重要的是，我国高端集成电路核心设备实现零的突破，打破了国外对我国集成电路制造业装备的禁运遏制战略。

知识产权一路护航

年时间走完国外发达国家十几年的历程，无疑是一段充满故事的艰辛之旅。“其中，一个重要的困难是如何避免国外企业精心设计的专利陷阱，如何运用专利保护，打好专利战。”中科信公司知识产权工作的负责人向表示。“在我们准备进行自主研发之后，国外竞争对手纷纷加紧了在中国的专利部署，这给我们的工作带来了更大的挑战。”北方微电子公司负责人也表示。

对此，中科信公司制定了专利战略方针：一要自主研发，抢先申请专利；二要尊重他人知识产权；三是敢于应诉维权。中科信公司负责人向详述了这样一个过程：“项目攻关的第一道程序就是进行全面的专利文献检索，我们共检索离子注入机专利4 0项。进行逐项分析后，我们完成了专利规避对策研究，并与相关单位组建专利侵权应急小组。同时向知识产权顾问和法律顾问进行咨询，既申请专利保护自己的知识产权，也有效避开他人的知识产权。”

北方微电子公司也成了专门的知识产权部门，积极主动地筹建企业专利信息数据库，通过企业专利数据库信息系统，很好地实现专利文摘信息检索功能和统计分析功能，并进行多种研究方向的数据统计分析。据了解，北方微电子公司还是北京市2005年百家专利试点企业之一。

此外，研发企业历经挑战后，也逐步认识到企业要在知识产权问题上赢得主动，根本的出路在于提高发明创造的能力和水平，争取逐步在更多的领域中，特别是集成电路装备这一高新技术领域中，占有自己的一席之地。通过检索获悉，截至项目验收，中科信公司共申请专利1 7项，其中发明专利26项，实用新型专利111项，获得软件版权7项；北方微电子共申请专利1 5项。

创新之路仍在继续

即使技术突破获得了耀眼的光环，但在采访中发现，项目研发人员依旧以平常心面对这一切成绩。“高端集成电路核心设备产业化是一个崭新的开始，但后面的路还很长。”北方负责人谨慎地表示：“设备改进、性能提高、关键部件的配套发展，这都是我们需要继续努力的。并且，目前国际技术已达到了65纳米的水平，这也是我们下一步的目标。”

同时，中科信公司也表示，公司即将研制完成12英寸100纳米大角度离子注入机，并且也正在研发65纳米大束流离子注入机，以确保能不断推出新产品，满足芯片生产企业产品升级、换代所需设备。

(源自：中国知识产权报)